Владимир Бахрушин » Публикация
Поделиться публикацией:
Опубликовано
2005-06-27
Опубликовано на SciPeople2011-08-27 09:27:15
ЖурналСложные системы и процессы
Вплив високотемпературних обробок на фізичні властивості монокристалів та монокристалічних шарів кремнію
Сложные системы и процессы. - 2005. - № 1. - С. 32 - 46.
Аннотация
В работе проанализировано влияние высокотемпературных обработок в водороде на электрофизические свойства и образование поверхностных дефектов в монокристаллических пластинах и эпитаксиальных слоях кремния. Исследована кинетика и определены параметры формирования центров, отвечающих за снижение удельного электросопротивления n-Si. Систематизированы данные про глубокоуровневые центры, образующиеся при таких обработках.
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален